拉锥平台拉伸精度：

0.2µm

拉锥平台拉伸速度：

0.2—1000µm/sec

拉锥平台最大拉伸距离：

80mm

工作台外形及尺寸：

700mm×500mm×270mm

火焰X轴向摆幅：

0-10mm

火焰Y轴行程：

0-50mm

火焰Z轴行程：

0-25mm

移动速度：

0-4 mm/sec

使用气体：

氢气和氧气

气体流量控制器规格：

0-300ml/min

重复精度：

±0.2%F.S

准确度：

±0.2%F.S

封装温度：

0--1500C

温度调整：

两端温度可独立调整

可封装尺寸：

35-40mm石英基板