EX-731参数性能
壹. 螢光X線控制部:
1. X線源:油浸式小型微小焦點X線管. 50KV管電壓，可變管電壓。
2. 照射方式：由上而下垂直照射方式。
3. 檢出器：比例計數管。
4. 濾波器：採用 Co 和 Ni 雙濾波器及數位式濾波器，可單一或同時使用。
5. 準直儀：Collimator 採用五種孔徑一體成型式，可自動切換使用。
0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0 ψ㎜.
(選購) 0.05 ×0.5, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5 ψ㎜.
(選購) 0.05, 0.1, 0.2, 0.3, 0.5 ψ㎜.
6. 樣品觀測系統：彩色CCD及高畫質顯示幕。
7. 多能譜分析器：使用256高頻分析器，光譜自動分析，在執行測量及運算時，非常快速。
貳. 電腦操作部:
8. 電腦系統：(僅供參考)
w 联想 相容中文個人電腦.
w CPU：Intel Celeron 2GHz或以上.
w RAM：2GB或以上.
w DVD-ROM ×1.
w RS232串行通信接口
w Hard Disk：160 GB或以上.
w 19" 高畫質顯示幕.
9. 印表機：日本EPSON彩色噴墨式印表機。
10. 本機型(EX-731系列)之操作系統採中文視窗(Windows XP)對話式操作，非常簡便。
參. 特性說明:
11. 測量項目：
w 單層膜厚測定.
w 2層膜厚測定.
w 3層膜厚測定.
w 合金膜厚成份比同時測定.
w 化學鎳膜厚測定.
w 壓鑄鋅底材上鍍銅、鎳二層膜厚同時測定.
w 元素的光譜峰值測定分析.
12. 測量材質：原子序22(Ti) ~ 82(Pb)為激發法測量。 原子序22以下為吸收法測量。
13. 測量範圍：原子序22 ~ 24 ， 約 0.2 ~ 20 um. 原子序25 ~ 40 ， 約 0.1 ~ 30 um. 原子序41 ~ 51 ， 約 0.2 ~ 70 um. 原子序52 ~ 82 ， 約 0.05~ 10 um.
14. 測量機能：
w 自動測定.
w 同一點重複測定機能
w 輸出形式設定.
w 自動測定條件測定.
w 能譜測定.
w 2點間等距離測定.
15. 測量條件或膜厚規格可以保存.
當要測量相同圖樣軌跡的製品時，若測量條件已儲存時，可以馬上進行測量。
最大檢量線檔案數：可登錄儲存100組檔案。
最大測量檔案數 ：可登錄儲存500組檔案(總計含手動300組,
自動100組,任意點自動測量100組等)。
16. 檔案記錄：
w 每一個批號可儲存無限個測量資料.(因各型電腦之容量大小而定)
w 每一個測量檔案可輸入及儲存公司名稱.
w 每個批號可單獨執行統計處理.
w 每個測量檔案可輸入不同的檢量線(校正曲線).
w 每個測量檔案可輸入自動測量的座標記錄及統計處理方式.
17. 資料處理：
w 統計值表示：平均值、標準偏差、最大值、最小值、上下限值範圍、Cp、Cpk。
w X-R 管制圖.
w 柱狀圖：有自動設定及自己任意設定二種方式。
w 測量資料輪廓剖面分佈圖。
w 測量資料三次元輪廓剖面分佈圖。
w 可彩色列印觀物顯示幕上所觀測之圖像。
18. 底材補正：當樣品與標準片的底材不同時，可作底材補正。
19. 觀物顯示幕：十字刻度線的高解析度彩色觀物顯示幕。
肆.使用電壓.
20. 使用電壓: AC100V ±10V ； (選購) AC110V， AC220V.
伍.安全裝置.
21. 本機俱有自動安全斷電系統功能.
22. 由鎖匙開關來控制X 線輸出，以防止外人任意操作.
陸.其他機能.
23. 測量台座標表示.
24. 裝置維護調整.
柒. 座標記錄..
26. 標準座標:
(1). 基本路徑: 於一個頻道內可記憶300點，可連結共4個
頻道，並可記錄下一次的定位補正、旋轉座標、
旋轉補正及頻道連結等的使用及多樣化操作。
(2). 登錄方式: a. 二點之間的等分。
b. 任意點輸入。
c. 起始點輸入，間距 ×間距數。
27. 定位補正記憶:
在X, Y軸之測定起始點，可做平行之位移記錄。
28. 旋轉座標登錄:
記憶在頻道內之同一路徑產品，在測定物不規則的排列下
，可依據所排列的迴轉角度之迴轉路徑成為基本的路徑輸
入及同一測定起始點和終點輸入後，可連續地測量和記錄。
29. 旋轉座標補正:
記憶在頻道內之同一路徑產品，在測定物任意放置時，各
測定點的相對位置不變的話，可依據所所輸入測定起始點
和終點的座標，各個位置會自行修正。
30. 座標頻道連結:
有數種位移組合及反覆的狀況下，若已記憶在頻道內，可
依據測量的順序及批號記錄來作連結。
31. 測量方式:
(1). 任意點測定。
(2). 自動定位測定。
32. 三次元立體顯示圖:
(1). 線狀立體顯示圖。
(2). 面狀立體顯示圖。
(3). 柱狀立體顯示圖。
捌. 設備尺寸：
25. 測定部： 外觀尺寸：600(W) ×465(D) ×730(H) ㎜.
重 量：自動型 約 85 Kg.
26. 操作部：(※僅供參考)
w 電腦尺寸：180(W) ×420(D) ×360(H) ㎜.
重量：約 8.8 Kg.
w 顯示幕尺寸：360(W) ×420(D) ×370(H) ㎜.
重量：約16.5 Kg.
w 印表機尺寸：500(W) ×250(D) ×300(H) ㎜.
重量：約 4.3 Kg.
27. 測量樣品限制.
樣品限制高度： 50㎜
樣品限制重量： 1 Kg.
玖. X-Y-Z軸可移動式測量台.
28. 測量台尺寸及移動量.
測量台尺寸 300 ×280 mm，
移動量(X-Y-Z軸) 80 ×60 ×50 ㎜.
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