性能指标:
标准情况下箱体内水含量
(注:标准情况为一个大气压,20度恒温)
≤1ppm
标准情况下箱体内氧含量
过渡舱可承受真空度值
>100pa
设备描述:
气体介质:N2、Ar、He气体。
净化系统采用可再生/还原的净化材料
控制系统实现功能:手/自动控制系统气压;
手/自动控制系统的净化状态;
自动控制气体净化系统的还原过程;
自动提示、报警功能;
系统控制参数设置;
系统参数记录;
系统执行机构工况检测。
电源:220V(AC) 50HZ
最大功率:3000W
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