千级无尘车间/1000级无尘车间/无尘车间

无尘车间相关知识

如何进入无尘无尘车间？
1、  任何进入无尘无尘车间的人，必须先进入无尘更衣室，穿上无尘帽、无尘口罩、无尘衣、静电防尘手套、无尘裤、无尘靴（如图①所示）。经过这套外形很“酷”的防尘装备可将人们身上已有的灰尘隔离在无尘无尘车间之外，但这才是第一步。
2、  接着就要进入风淋室。所谓风淋室是指一条“吹风的长廊”，不过在这条长廊中吹出来的强风是没有任何静电存在的离子风。这种离子风所具有的中和能力可以将人身上的正负电荷中和，而且依靠静电黏附在毛发、衣服上的灰尘也会自动脱落并粘在地板上的蓝色洗尘垫上（如图②所示）。
3、  走过风淋室后，就进入无尘无尘车间了。如果无尘无尘车间生产的产品要防静电，则还要经过“静电桥”彻底地消除身上的静电。若进入百级无尘车间还重复2、3步骤动作。
什么是无尘概念？
按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。
　　如表1所示，每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。
表1
  A级 B级 C级
粒径 ≤0.5 ≤0.5 ≤0.5
个数 ≤3500 ≤10000 ≤18000

无尘车间的动线规划

所谓[动线]，是指人员、原料之入室路线，与人员与成品的出室路线。规划时，要检讨分析人(车)路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业之流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以防止交叉污染(Cross Contamination)。
要点：
1． 作业者、材料、化学药品等动线勿集中。
2． 制造装置之出入，需不对作业产生大影响。
3． 超无尘车间四周，宜设缓冲区(即较差无尘区)。
无尘车间的规划 一般性的规划重点

无尘车间的整厂规划(Turn Key Projects)(如表3-1)，因涉及范围极广，需建筑、水电、空调、环保、防震、制造等各项专业人才共同规划，尽管不少无尘车间规划，多需要就于既有的建筑物，然而，为避免失误应尽可能事先确认下列事项：
1. 洁净度等级。 2. 室压之平衡措施。
3. 温湿度要求。 4. 机器设备之必要性。

  

无尘车间标准-分类
1.乱流式(Turbulent Flow)：
  空气由空调箱经风管与无尘车间内之空气过滤器(HEPA)进入无尘车间，并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于无尘车间等级1,000-100,000级。
  优点：构造简单、系统建造成本低，无尘车间之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高无尘车间等级。
  缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。 

2.层流式(Laminar)： 
  层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘车间等级需求较高之环境使用，一般其无尘车间等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
(1)无尘车间水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
  优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。
  缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。 

(2)无尘车间垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
  优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
  缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。