技术参数：
设备外形尺寸：根据客户实际需要确定
清洗能力：最大清洗能力为每批次4个片架200片
主体机架采用进口PP板材焊接成型；所有管道阀均采用德国进口盖米隔膜气控阀；
本设备有两种于运行模式：全自动和手动两种
全自动运行模式：操作工人只需要将片架放入制定上料处设备将自动完成清洗工作（当完成清洗后片架到达下料处时，设备将暂停运行并发出声光报警，提示操作人员取料），大大减轻操作人员工作量。设备的机械手部分分为上下抖动和左右平移，上下抖动目的是为了使硅片与清洗液充分接触；左右平移是完成每个工位件的传递。在上料、下料以及每个工位处都装有光电传感器，避免片架相互碰撞而产生碎片。
手动模式：所有槽体间的搬运及上下抖动工作将由操作人员自行完成，手动模式虽然加大了操作人员的工作量但是可以实现不同工艺要求的工序公用一台设备。
电器方面采用PLC+触摸屏控制，人机界面更加合理；强弱电分明。
（*所有技术参数均可根据客户具体实际需要制作）
