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製品資料

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MSS-Aシリーズ,MSS-Bシリーズ,MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。
3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。
3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
特別注文にてバキュームチャックなども承ります。