低温真空探针台
极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
高温/低温真空探针台
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| 特点 | 类型 | 规格 |
*外置4个定位针臂，预留2个，方便探针移动时，重新调整探针位置 *载物Chuck 温度范围：5K-500K *极限真空到10-10 torr *可以选择射频配件做最高67 GHz的射频测试 *双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度 *针臂定位精度可以升级为0.7微米 | 温度控制系统规格
| 控温范围：6K-480K
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控温精度：0.1K
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温度稳定性：6 K + - 0.2 K / 77 K + - 0.1 K/ 373 K + - 0.08 K/ 473 K + - 0.1 K/ 823 K + - 0.2 K(可选)/ 973 K + - 1.0K(可选)
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常温到8K冷却时间:1小时40分钟
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8K到常温升温时间:1小时30分钟
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从常温开始的升温时间(4 chuck，单位分：秒) 200 ℃/1:00 550℃/1:30700 ℃/ 2:00
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真空腔体规格
| 腔体厚度：6mm
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极限真空到：10-10 torr
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机械真空泵抽速8L/S,抽气法兰25KF
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整体规格
| chuck尺寸：2英寸，表面平整度5um
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针座行程 X-Y-Z ： 25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch) 50.8mm可选 |
针座移动精度X-Y-Z： 10 micron*10 micron*10 micron（可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron） |
探针可旋转角度：+-5 度
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显微镜控制
| X-Y轴方向行程：2"*2"（可以选择4"*4"）
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总共放大倍率：240X（可以选择更高倍率）
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可选附件：防震桌、方形chuck、分子泵组、射频部件、Chuck可外部移动装置
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公司介绍：
深圳市森东宝科技有限公司(Cindbest)是香港森东宝国际有限公司在大陆的全资子公司，自主研发CINDBEST品牌探针台、激光修复仪、集代理半导体测试仪表的综合型厂家。
激光修复仪类型：32寸半自动、32寸手动、70寸半自动、70寸手动激光修复仪。
CINDBEST探针台类型：普通晶圆测试探针台、太阳能电池测试探针台、积分球探针台、IGBT高压大电流探针台、磁场探针台、高低温探针台、气敏分析探针台、低温真空探针台、手套箱内探针台。
探针台配件：金相显微镜、三丰显微镜、体式显微镜、样品加热变温台、防震桌、屏蔽箱、三轴调节探针座、RF四维探针座、高频探针夹具、管状同轴夹具、管状三轴夹具、弹簧同轴夹具、弹簧三轴夹具、钨探针（硬探针、软探针）、GGB高频探针等各类探针台配件。
如需了解更多详细参数，请联系：
13410490315 肖生
QQ:717598602 邮箱：aldrich@cindbest.com
探针台类产品，接收客户定制。
