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低价处理单晶炉全新库存设备
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梁山国发二手化工设备经销处
中国 济宁
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品牌
华盛天龙
型号
80型90型
类型
传热设备
新旧程度
全新
设备所在地
山东梁山
设备生产产地
常州
产品数量
10
用途
单晶硅
材质
碳钢
有无现货
有
二手各种型号单晶炉.二手硅单晶炉95型.90型.85型.80型.60型.50型.型号齐全价格低廉.各大厂家都有.可提前预约需要那个厂家的.到时有货可调剂过去.CL系列单晶炉,属软轴提拉型,用直拉法生长无位错电路级、太阳能级单晶的设备。
此设备结构设计稳定,运行平稳,且有多项安全防护设施,质量流量及温度控制精确,整个晶体生长过程由高可靠的可编程计算机控制器(PCC)控制,并可实现全自动(CCD)控制,包括
抽真空、熔化、引晶缩颈、放肩、等经生长和尾锥生长。 CL-90型设备提供一对电极,满足用户采用两温区加热的工艺要求。设备使用18寸或20寸的热系统,投料量
60-90Kg,生长6″或8″的单晶体。设备特点:1稳定的机架结构设计,增强了设备在晶体生长过程中的抗振动能力。、优化的液压提升机构确保副炉室提升和复位时的运动平稳性。
与主机分离的分水器设计,在减少冷却水振动对晶体生长的影响的同时优化了水路布局。、晶体和坩埚的提升采用双电机结构,保证稳定的低生长速度以及坩埚和籽晶的快速定位。
5、采用无振动的高性能马达和低噪声的减速器驱动晶体和坩埚上升,可提供稳定的低生长速度。6、设备的真空条件和在真空下的可控惰性气体气流使得热区清洗最佳化。氧化硅可以在不污染
晶体和晶体驱动装置的条件下排除。
7、带隔离阀的副室可以在热区保持工作温度的情况下,取出长成的晶体或者更换籽晶。对惰性气体流量和炉室压力高精度的控制能力,为生长高品质单晶创造了条件。
炉盖和炉腔通过两个提升装置提升,很方便的转向一边快捷地清洗。、熔化温度通过对加热器温度的电控来维持和调节,加热电源采用直流供电提高了控制精度。
高品质的加热器温度测量传感器实现了精确的温度控制整个晶体生长过程由一个高可靠的可编程计算机控制器(
PCC
)控制,包括抽真空、熔化、引晶缩颈、放肩、等经生长和尾锥生长,晶体生长全过程可实现全自动(CCD)控制:。
13、带有数据和报警过程控制的可视化软件,存储在计算机的硬盘中。可以显示过程变量随1.用途:本设备为软轴提拉型单晶炉,是在惰性气体(氩气)环境中,用石墨电阻加热器将硅半导体
材料溶化,用直拉法生长单晶的设备。9001型炉采用
18"热场,投料量60Kg,可拉制6"或8"的单晶。(1201型炉,采用18
”或20”热场,投料量最大120Kg,可拉制6"~10"的单晶。)
2.设备的工作原理概述:
本设备采用软籽晶轴提升机构,显著降低了单晶炉的高度,因而在一般厂房中即可安装使用,
便于装配维修和拉晶操作,同时实现了籽晶轴转速稳定的效果。
本设备在性能和控制上都进行了改进。在机械结构方面采用了先进的磁流体密封技术、拱形
封头式炉盖结构以及合理的主、
副室提升机构。
单晶的提升采用的是可承受
190Kg
的不锈钢丝绳。
炉室结构为顶开式,主炉室和副炉室开启时由螺母丝杠装置实现上移。上升到位后对称旋出,
便于机动取出晶体,拆除热场系统和清理炉内各部。
主炉室和副炉室之间,设有翻板阀,可在维持主炉室工艺条件不变的情况下取出晶体,更换籽晶
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