风机过滤器单元 (FFU)的发展及应用
FFU是FAN FILTER
UNIT的缩写，中文称作“风机过滤器单元”也就是将风机和高效过滤器或超高效过滤器组合在一起构成自身能提供动力的末端净化设备。过去在净化工程中常用的带风机的高效过滤器的送风口，自净器，层流罩等都是FFU的一种。
FFU一般由以下四部分组成：风机、过滤器、机壳、电器控制元件。
在二十世纪六十年代，第一个层流室的建立就已经开始出现FFU的应用了。但直到1984年，在亚洲才出现大规模应用FFU的事例（大约有5000台）。是什么原因导致FFU在这么长的时间没有得到广泛的发展呢？有三个问题占主导地位。
第一：噪声问题。各位可以想一想，在当时的生产工艺水平下，5000台风机在一起的噪声会是多大呢？
第二：压力平衡。在很大的静压箱里，每一个不同角落的风机是否能得到均衡的压力，这在当时也是不能够得到保证的。
第三：维护问题。FFU送风单元本身造价就比较高，如果它的电机寿命不能保证的话，更换又会带来附加投资。这些都是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。
但是这一切，在1984年都发生了改变。首先是噪声问题得到了控制，大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65分贝以下，这符合工业厂房的标准。其次随着自动控制的发展，监测和调节各个角落的静压也变得容易起来。最后电机的寿命随着技术的提高也得到了质的飞跃。
现在，随着半导体电子技术的发展，越来越密集的集成电路也要求着越来越高的洁净室等级。苏州中春科技（www.midspringpurify.cn）生产的FFU就充分利用了其全面的功能性，在净化工程领域扮演着越来越重要的作用。
第一、灵活性。因为FFU层流罩是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。
第二、可再利用性。从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三、负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。
第四、减少运行成本。虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。用大循环减少40%的运行成本。
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