工艺

1．目的：本设备功能为将方形硅片装入到片盒中,以供下一工艺使用。

2．适用尺寸：156×156 (±0.5mm)、125×125 (±0.5mm)；

厚度为160～280μm的方形硅片。

3．操作方式：全自动

设备环境要求

1．电源：   220V 1kW

2．洁净压缩空气：5~7 kg/cm2

主要技术参数

1．外形尺寸：1100（L）×920（W）×1525（H）（mm）

2．装片效率：2800片/小时

3．碎片率：≤3/10000

4．工位数：双工位

5．设备兼容125×125 (±0.5mm)（5英寸）、156×156 (±0.5mm)（6英寸）两种规格的硅片。