所属品牌：法国Alpao公司
法国ALPAO公司提供的高速可变形镜采用磁激励的连续反射镜面，具有调制量大，高动态范围，线性度好，低磁滞等优势。
关键词：变形镜，DM，deformable mirror，MEMS，可变形反射镜，可变形镜，PZT压电陶瓷驱动，ALPAO，法国Alpao，磁性变形镜，magnetics actuator。
可变形镜
可变形反射镜通过改变表面面形来补偿波前相位畸变，是自适应光学系统的核心部件，在天文望远镜、光束整形、激光腔内像差校正以及医学人眼像差的检测与校正等多方面均有应用。
ALPAO 是从法国Joseph Fourier 大学独立出来的公司，主要开发电磁场驱动的MEMS 驱动器，应用领域包括天文领域以及眼科成像、显微成像以及自由空间光通信等。最高到277 个驱动器，行程达24µm，而且响应时间小于1ms。这种变形镜结构非常紧凑、没有磁滞而且驱动电压特别低（只需±1V）。相比于MEMS 静电变形镜来说，磁性变形镜的优点在于其巨大的变形量,就单元数方面来说磁性变形镜也还有更进一步发展的空间。
ALPAO 公司可变形镜
法国ALPAO公司提供的高速可变形镜采用磁激励的连续反射镜面，能实现高速、准确的波前校正。
主要特点：
调制量大(peak to valley: up to 60µm,
inter actuator: up to 3.0µm)
高动态范围 (setting time 1ms with +/- 5%)
线性度好(non linearity errors <3%)
低磁滞（hysteresis error<1%)
稳定度高(+/-1% over 30s)
镀膜质量高( R>97% @500nm- 2.0µm)
ALPAO Hi-Speed DM97-15完成较大的Zernike amplitudes (wavefront, peak to valley).
更多的致动器数目可以产生更高精度，请跟我们联系。
高动态范围
1.ALPAO高速可变形镜
ALPAO提供的高速可变形镜集成了磁性驱动器线性度好、工作稳定等优点，同时具有调制量大，调制速度快等无以伦比的优势。得益于ALPAO独特的专利技术，我们能够为眼科学、天文学、光通信和激光等不同类型的应用提供各种定制型的产品。
Typical temporal response
变形镜结合了大调制量与宽带宽的特点，使用创新的专利技术，我们可提供的可变形反射镜稳定所需的时间在毫秒量级。ALPAO 高速可变形镜优秀的工作性能大大降低了传统大调制量器件普遍存在的短期误差问题，能够提供无以伦比的高品质图像。由于我们可变形镜的驱动器之间的距离很短，我们有条件提供结构非常紧凑的仪器。
(1)In closed loop (2) first resonance of the membrane (3) other metallic coating available
▪ 所有ALPAO可变形反射镜都可以使用不同金属材料（银、铝、金……）
▪ ALPAO可变形反射镜的最低工作温度为-40℃
2.Hi-Speed DM37-15可变形镜
Hi-Speed DM37-15可变形镜的有效通光孔径为7.5mm ,该系列产品具有表面误差小、调制量大（大于35µm的散光和聚焦波前校正）、非线性误差低（<3%）、稳定时间快（1ms at +/-5%）以及高品质的银保护镀膜。这款产品是一款具有创新意义的产品，能够以如此小的尺寸提供如此大的校正量，在波前校正领域尚属首次。
ALPAO Hi-Speed DM37-15配有紧凑型的驱动系统，以实现精确控制。同时，我们还提供以Matlab、Labview和C/C++为基础的驱动程序实现快速可靠安装。
Hi-Speed DM37-15可变形镜配有高精度的驱动电路。新的ALPAO驱动电路控制输入可变形镜的电流（而不是电压），以提高控制精度。而且，由于其 14bitDAC和高帧频（>7kHz)特点，它能够帮助发挥可变形镜的所有优点。同时，该驱动系统具有内部检测功能，以实现诊断和校准的目的。
因为高精度的驱动电路升级到1024个通道，仅仅一个驱动就可以控制多个可变形镜，这项功能拓展了其应用领域(Multi-Conjugate Adaptive Optics, Multiple Objects Adaptive Optics)。
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ALPAO Hi-Speed DM37-15 | |
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Clear aperture size |
7.5 mm |
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Number of actuators |
37 |
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Distance between two actuators |
1.5mm |
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Geometry of the actuators |
Square Grid |
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Mirror surface quality in closed loop |
Error < 10 nm RMS |
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Wavefront tip/tilt stroke (Peak-to-Valley) |
>+/- 60µm |
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Wavefront astigmatism and focus (Peak-to-Valley) |
> +/- 35µm |
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Wavefront inter-actuator stroke |
> 2µm |
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Non linearity errors |
< 3% |
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Settling time (at +/- 5%) |
1 ms |
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Coating |
Silver Protected |
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Operating Temperature |
15 - 35 °C |
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Software interface |
C/C++, Matlab, Labview |
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Hardware interface |
PCI I/O Board |
相关文献资料：/document/v_Alpao_Paper.html
