Hitachi SU8020
日立2011年新推出了SU8000系列高分辨场发射扫描电镜，其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm，并且在探测器设计上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号，实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测；结合选配的STEM探测器，还可以实现明场像和暗场像的观测；此外在半导体应用中，还可以安装EBIC探测器，采集感生电流图像，极大丰富了信号的采集，对样品的信息的收集达到了新的高度。
日立电子显微镜SU8020特点：
1. 优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品
3. 配置Lower、Upper和Top三个Everhart-Thornley型探测器
4. Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像
5. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
6. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能
7. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成
项目 | SU8020 | SU8030 | SU8040 |
二次电子分辨率 | 1.0nm （加速电压15kV、WD＝4mm） |
1.3nm （加速电压1kV、WD＝1.5mm） |
加速电压 | 0.1～30kV |
观测倍率 | 20～8000,000(底片输出) |
60～2,000,000（显示器输出） |
样品台 |
马达驱动 | 5轴 | REGULUS样品台 |
行程 | X | 0～50mm | 0～110mm |
Y | 0～50mm | 0～110mm | 0～80mm |
Z | 360° |
T | -5～70° |
R | 1.5～30mm | 1.5～40mm |
最大装载尺寸 | 100mm（最大） | 150mm（最大） | 150mm（最大） |
150mm（选配） | 200mm（选配） |
探头 |
标配 | Lower | 高立体感图像 |
Upper | 高分辨SE、LA-BSE图像 |
Top | SE的电位衬度像、HA-BSE图像 |
选配 | STEM | 明场像、暗场像 |
YAG 探头 | BSE图像 |
半导体探头 | BSE图像 |
EBIC | 电子束感生电流图像 |
EDS | 元素分析 |
反污染措施 |
冷指 | 标配 |
物镜光阑 | 内置自清洁功能 |
电子枪 | 内置加热器 |
真空系统 |
离子泵 | 3台 |
分子泵 | 1台 |
机械泵 | 1台 |
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