陶瓷平面靶材采用烧结及绑定工艺,可生产长度600mm,单节长度400mm,宽度30mm,圆角、斜角、台阶等异形尺寸可根据客户要求加工。相对密度>99%,纯度>99.95%~99.999%,该陶瓷平面靶材主要应用于薄膜太阳能工业、液晶显示、有机发光二极管、光学和低辐射玻璃等。
深圳市众诚达应用材料科技有限公司专业生产靶材的生产工艺:通过金属熔炼,粉末冶金,非金属粉末方法运用真空熔炼,普通热压,冷压烧结等方法成型,通过锻造,热轧或冷轧,再经过热处理消除型材应力并使之均质化或通过高温烧结增加其致密性,然后再对处理过的型材进行车,铣,刨,磨等机加工过程,再清洗,烘干,完成最终产品。有时根据需要对某些靶材地面金属化后进行与无氧铜背板的绑定。最后经过超声波或者X光等检测,包装,出厂。靶材种类:金属靶材,陶瓷靶材,合金靶材。