日本的科学家采用 B i zo 作为 添加剂，B i 2 O3 在 8 2 0 C r 熔化，在 l 5 0 0℃的烧结温度超出部分已经挥发，这样能够在液相烧结条件下得到比较纯的 I T O靶材。而且所需要的氧化物原料也 不一定是纳米颗粒，这样可以简化前期的工序。采川

这样的靶材得到的 I T O 薄膜的屯阻率达到 8 ． 1 ×1 0 n- c m，接近纯的 I T O薄膜 的电阻率。F P D和导电玻璃的尺寸都相当火，导电玻璃的宽 度甚至可以达到 3 1 3 3 _ ，为了提高靶材的利用率，开发 了不同形状的I T O靶材，如圆柱形等。2 0 0

0年，国家 发展计划委员会、科学技术部在《 当前优先发展的信 息产业重点领域指南》中， I T O大型靶材也列入其中。深圳众诚达应用材料科技有限公司生产销售的靶材应用于平板显示与触控行业。

深圳众诚达应用材料科技有限公司为降低成本，玻璃基板面积越来越大，靶材之面积也随之增加，以往技术能力不足时，必须使用多片靶材拼接帮定成大面积靶材，但由于接合多会对镀膜品质极高的行业有一定影响，为得到良好的镀膜品质，一体成形和旋转靶是趋势。加上未来大面积镀膜玻璃基板将再加大，大部分靶材需要绑定，旋转靶致密性要求，对靶材做长做大是一项严苛的挑战。