深圳众诚达应用材料科技有限公司生产销售磁控溅射用的靶材,应用于磁控溅射技术领域,在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气),永久磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下,Ar气电离成正离子和电子,靶上加有一定的负高压,从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大,在阴极附近形成高密度的等离子体,Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面,以很高的速度轰击靶面,使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。
深圳众诚达应用材料科技有限公司生产销售的AZO靶材,主要有AZO平面靶材和AZO旋转圆柱靶。AZO平面靶为公司早期研发成果,随着产业发展,公司在AZO平面靶的基础上,大力研发成功开发出AZO旋转靶,成功推向市场并广泛应用获得客户认可。AZO旋转靶材,增大了靶材被刻蚀溅射的面积,提高靶材的利用率,靶材的利用率高,使用时间长,有效减少换靶频率,减少停机与抽真空的次数,对于连续性镀膜线,大面积镀膜玻璃,极大地配合企业提高生产能力、扩大市场份额,获取规模效益,保持长期竞争优势。