众诚达公司是国内最早使用注浆成型工艺生产陶瓷靶材的厂家,此种技术目前也只被日本3家大型ITO生产厂家所掌握。
1、注浆成型工艺通过球磨机研磨制粉,使得粉体分布更均匀,保留了氧化物 粉体的活性,易得到超高密度的产品。
2、在球磨制浆过程中,使原料颗粒进一步细化,分子结构更紧密,避免了等静压工艺生产过程中压力分布不均,靶材密度不一致的问题。
3、使用注浆成型工艺生产的陶瓷靶材,能有效解决靶材结瘤的问题。并且生产模具尺寸容易更换,易于迅速扩大产能提升生产效率
深圳市众诚达应用材料科技有限公司专业生产磁控溅射靶材。磁控溅射靶材的利用率可成为磁控溅射源的工程设计和生产工艺成本核算的一个参数。截止2012年,还没有见到对磁控溅射靶材利用率专门或系统研究的报道,而从理论上对磁控溅射靶材利用率近似计算的探讨具有实际意义。对于静态直冷矩形平面靶,即靶材与磁体之间无相对运动且靶材直接与冷却水接触的靶, 靶材利用率( 最大值) 数据多在20%~30%左右(间冷靶相对要高一些,但其被刻蚀过程与直冷靶相同,不作专门讨论),且多为估计值。为了提高靶材利用率,研究出来了不同形式的动态靶,其中以旋转磁场圆柱靶最著名且在工业上被广泛应用,据称这种靶材的利用率最高可超过70%,但缺少足够数据或理论证明。常见的磁控溅射靶材从几何形状上看有三种类型:矩形平面、圆形平面和圆柱管。