硅片崩边在线检测系统，适用于硅片加工生产线，系统融入硅片生产厂已有的生产线，跨越安装在硅片生产线上，实现自动检测硅片。

一：用于不同加工工艺分道：硅片可有需要经过复杂的后加工工艺（化学抛光，拉单晶，检验等等），配合分道装置将硅片导线不同产线分支

二：配合各种整线方案：根据工厂的需要，配合各种机械应用