在真空镀膜工艺中工业冷水机起什么作用？

真空镀膜工作原理是膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜体分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光，所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮，果如真空度不高结晶体就会失去光泽结合力也很差。早期真空镀膜是依靠蒸发体自然散射，结合差工效低光泽差。现在加上中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜，解决了过去自然蒸发无法加工的膜体品种，如镀钛镀锆等等。

中频设备必须加冷却水，原因是它的频率高电流大。电流在导体流动时有一个集肤效应，电荷会聚集在电导有表面积，这样使电导发热所以采用中孔管做导体中间加水冷却。

（主要是圆柱靶）为什么也要用水冷却？磁控溅射靶在发射时会产生高温会使射枪变形，所以它有一个水套来冷却射枪。同时还有一个重要原因磁控溅射可以被认为是镀膜技术中最突出的成就之一。它以溅射率高、基片温升低、膜-基结合力好。

从更深层次研究电子在非均匀电磁场中的运动规律 ,探讨了磁控溅射的更一般原理以及磁场的横向不均匀性及对称性是磁约束的本质原因。磁控溅射可以被认为是镀膜技术中最突出的成就之一。它以溅射率高、基片温升低、膜-基结合力好、装置性能稳定。

风冷式螺杆冷水机组(单螺杆机头)产品特点：

3.运行维护费用低

a.机组可依据负载的需求实行智能化程序控制：0-25-50-75-100%的容量控制，节省能源

b.螺杆式压缩机的零部件总数只有往复式的十分之一，结构简单，易损件少，故障率极低内   置油分离器

c.采用三段式滤油机构，最佳油气分离，包覆式设计，可将压缩机运转噪音降到最低

d.螺杆式冷水机压缩机头无故障运行可达4万小时以上

4.安全保护功能齐全

a.压力保护：高压保护和低压保电气自动保护装置

b.电机保护：欠电压保护，缺相保护，逆相保护，过载保护，电机过热保护，缺油保护，防冻保护。

c.当冷冻水温度过低时，机组制动停机

d.安全阀保护：当冷媒压力超过一定数值时，安全排气阀会制动开启。

冷热一体机

主要特点

最高采用欧美进口压缩机头

铜管采用无氧焊接法

加热功率切换功能

RS485通讯功能，实现自动化管理（选购）

电器采用OMRON，FUJI，TE，LG，MOELLER，ABB

温度控制范围：进水温度+5oC-98oC

不锈钢一体管路，减少管阻及锈垢

采用进口高级组件，使用年限长

控制方式：采用进口为电脑或PLC（选购）

安全保护完善，故障显示，维修，保养无需专业人员

高效率蒸发器，可节省能源30%以上

C-10以上采用两组压缩机头，可单独或共同使用。