直线驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器。独特的气缸设计使冲击和振动减少到最小. 这些真空闸阀真空腔内没有机械锁,这样此就非常有益于半导体制造和其他敏感过程要求操作时相对自由振动的. 所有移动的接头都有硬轴,减少微粒的产生并且使驱动更容易。HVA 不锈钢阀体真空闸阀提供了真空阀门业最小的内部表面区域。真空闸阀阀体和所有主要内部部件在1100 ℃, 1x10E-6Torr的真空炉中焊接的, 确保了最大的完整性. 这就消除了虚漏和缺陷部分, 使在常规状态下焊接出现的阀体变形的可能最小化了. 在保养方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空阀门从整个系统中拆卸出来。
21200 系列百万周期真空闸阀产品特点
1. 硬化不锈钢轴驱动轴和驱动销
2. 电动气动驱动
3. 不锈钢焊接波纹管
4. 标准或定制法兰选择
5. 电磁阀控制并带有手动超控
21200 系列百万周期真空闸阀产品规格
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标准或定制法兰 |
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不锈钢 |
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DN16-DN600 mm |
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2x10E-10 AtmCC/Sec |
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1x10E-9 Torr |
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《200℃ |
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水、蒸汽、空气 |
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软密封型 |
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电动气动 |
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500000-1000000 启闭次数 |
21200 系列百万周期真空闸阀产品应用
这些真空闸阀可以和低温泵,涡轮分子泵,离子泵或者其他要求清洁,高效循环,少量维修保养和紧闭关闭的低漏气阀门.
21200 系列百万周期真空闸阀产品订货号及2D,3D图展示
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16 |
0.625 |
21212-006_ |
2D |
3D |
- |
2D |
3D | |
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40 |
1.5 |
21212-015_R |
2D |
3D |
- |
2D |
3D | |
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50 |
2 |
21212-020_R |
2D |
3D |
- |
2D |
3D | |
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63 |
2.5 |
21212-025_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
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80 |
3 |
21212-030_R |
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2D |
3D |
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100 |
4 |
21212-040_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
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160 |
6 |
21212-060_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
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200 |
8 |
21212-080_R |
2D |
3D |
2D |
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3D |
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250 |
10 |
21212-100_R |
2D |
3D |
- |
2D |
3D | |
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320 |
12 |
21212-120_R |
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3D | |
21200 Series Model Key Guide
21200 系列百万周期真空闸阀产品部件图
上海伯东主要经营产品:德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵:应用于各种条件下的真空计，氦质谱检漏仪，质谱分析仪，以及美国考夫曼公司 KRI 离子源离子枪 霍尔源，美国HVA真空阀门，Polycold冷冻机等
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