型号

额定功率

加热区尺寸

（直径×高度）

工作温度

（℃）

真空度

（pa）

压升率

(Pa/min)

额定频率

(HZ)

ZVF 50

60

150×200

3000

4.7×10-3

＜0.15

8

ZVF 100

100

250×400

3000

4.7×10-3

＜0.15

6

ZVF 160

160

360×750

2800

4.7×10-3

＜0.15

4

ZVF 200

200

450×900

2800

4.7×10-3

＜0.15

4

ZVF 300

300

600×1200

2800

4.7×10-3

＜0.15

4

ZVF 400

400

680×1200

2500

4.7×10-3

＜0.15

2.5

ZVF 500

500

800×1500

2500

4.7×10-3

＜0.15

2.5

ZVF 600

600

600×2500

2500

5×10-3

＜0.15

2.5

ZVF 630

600

850×2600

2500

5×10-3

＜0.15

2.5