LF-400
SERIES
概要
LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。
可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高精度，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。
特点
o 模拟式热质式流量计/流量控制器：
-
低单价
-
环境温度补正
-
可应用的流率范围广：
- 0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
- 0～1,
2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
o 高精度
±1%(≤15SLM)
±1.5%(＞15SLM.)
o 可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
o 国际兼容
应用
o 工业设施的气体供应监测/控制。
o 气体分析设备。
o 固定气体流量控制。
o 气体混合或分离设备
标准 气体质量流量用氮气(N2)标定。
标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入输出
低价格，高性能 LF-400 模拟式系列 热式质量流量計/流量控制器 |
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
(小体积型)
型号
LF400-S | □ | □ | － | □□□ | － | □□□ | － | □ | □ | □ |
型式 | A | 模拟式 |
B | 数字式 |
功能 | | M | 流量计 |
C | 流量控制器 |
流量范围 | | ABC |
|
气体种类 | | 013 | N2 |
008 | Air |
015 | O2 |
004 | Ar |
025 | CO2 |
001 | He |
FFF | 其他 |
接头 | 1/4”VCR | 1 | |
1/2”VCR | 2 |
3”SWL | 3 |
6”SWL | 4 |
其他 | F |
讯号 | DC
0~5V | 1 | |
其他 | 2 |
电源 | DC+/-15V | 1 |
| | | | | | | | | | | | | |
流量范围是以mL/min，L/min 为单位
例：
5mL/min 表示为005
500mL/min表示为500
50 L/min(nor) 表示为50L
规格 (热式)
功能 | 流量计/控制器 |
基本型号 | LF400-S |
满量程流量范围(N2) | SCCM | 0～5，10，20，30，50，100，200，500 |
SLM | 0～1,
2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 |
精度(％F.S) | ±1(≤15SLM) |
±1.5(＞15SLM.) |
控制阀动作型式 | 常闭式 |
线性(％F.S.) | ±0.5～1(≤15SLM) |
±1.5％(＞15SLM.) |
重复精度(％F.S.) | ±0.2 |
响应时间(sec) | ≤1 |
流量输出信号 | 0-+5.00V |
流量设定信号 | 0-+5.00V |
电器接头 | DB15
pin(接头) |
工作环境温度 | (℃) | 5～45 |
工作压差 | (MPa) | 0.1～0.5 |
漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
最大耐压 | 3MPa |
介质接触材质 | 304，316，316L |
密封材料 | 氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯 |
接头 | VCR " 1/4、1/2 |
Swagelok1/8”、1/4”
、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm |
接头和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm |
电源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA |
重量 | 1.0KG |
尺寸/定义图
设定/显示/电源一体型控制器 LF-1D
| 1: 输出电源：+15V±5% 500mA -15V±5% 500mA
2： 基准源：+5.00V±0.1％ 5mA
3： 供电电源：8VDC-24VDC，50Hz±5%
4： 输入输出信号：电压信号0-5V，电流信号4-20mA
5： 外形尺寸：96×96×125mm
6： 显示器：128×64点阵式液晶，高亮度宽温（-20~70℃）液晶屏，画面清晰LED背光
7： 最大功耗：8w
8： 控制通道：单路控制显示
9： 基本误差：±0.2%FS
10：环境温度：0-50℃
11：环境湿度：0-85%RH
12：防护等级：IP40 |
