氮,氢,氩,氦而言,通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体;而对于氧气,纯度为99.99%即可称高纯氧;高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气;高纯气体可作为配制混合气的底气,
电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业,或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗,或用作载气、保护气氛等等。
混合气能根据您的需要,来完成各组份的配比
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