SMH系列运动平台是星微科技一款面向中低端市场、性价比极高的精密运动定位台，通过研发团队不断优化材料及工艺使平台的平面度、直线度等方面达到最优，并且完全可以按照客户的需求来选择该系列高、低精度两类产品，该系列产品能满足广泛的市场需求。

       SMH系列运动平台是以进口高精度直线导轨作为载体，它的特点是：

      1）具有自动调心能力；来自圆弧沟槽的DF(45-°45)°组合，在安装的时候，藉由钢珠的弹性变形及接触点的转移，即使安装面多少有些偏差，也能被线轨滑块内部吸收，产生自动调心能力之效果而而得到高精度稳定的平滑运动；

      2）具有互换性；由于对生产制造精度严格管控，直线导轨尺寸能维持在一定的水准内，且滑块有保持器的设计以防止钢珠脱落，因此部份系列精度具可互换性，客户可依需要订购导轨或滑块，亦可分开储存导轨及滑块，以减少储存空间。

      3）所有方向皆具有高刚性；运用四列式圆弧沟槽，配合四列钢珠等45度之接触角度，让钢珠达到理想的两点接触构造，能承受来自上下和左右方向的负荷；在必要时更可施加预压以提高刚性。

       线性导轨的钢珠在滑块跟导轨之间无限滚动循环， 从而使负载平台沿着导轨轻易的高精度线性运动，并将摩擦系数降至平常传统滑动导引的五十分之一，能轻易地达到很高的定位精度。滑块跟导轨间末制单元设计，使线形导轨同时承受上下左右等各方向的负荷，专利的回流系统及精简化的结构设计让线性导轨有更平顺且低噪音的运动。

      SMH系列运动平台采用U型槽式直线电机驱动，这种电机结构简单，定位精度高，反应速度快、灵敏度高，随动性好，可以实现无接触传递力，机械摩擦损耗几乎为零，所以故障少，免维修，因而工作安全可靠、寿命长，结合PID闭环智能控制技术，SMH系列运动平台最大加速度可以达到3G，最大速度2M/s，最高精度0.5uM。

        SMH系列运动平台为微光刻技术、数控加工、生物技术、IC 封装设备、纳米表面形貌测量等领域提供一个能够实现精密定位和精确运动的载物平台，在先进的电子制造设备比如光刻机贴片机等，高性能的运动平台是其工作的主要机构。此外，在还可作为微型机电系统的制造和检测、光学测量加工领域、超精密机械加工、航空发动机测量制造等精密定位的理想选择。