1.靶材技术指标：

纯    度：3-4 N

主要成分：Nb2Ox

相对密度：d≥ 99%

理论密度：ρ= 4.6 g•cm-3

实际密度：ρ≥ 4.57 g•cm-3

我司能提供氧化铌的金属化以及帮定服务，以及铜背板的供应

2.氧化铌粉体参数：

1) Ti/Al 合金靶材 (67:33,50:50at%)

2) W/Ti 合金靶材 (90:10wt%), 

3) Ni/V 合金靶材 (93:7,wt%)

4) Ni/Cr 合金靶材 (80:20, 70:30,wt%), 

5) Al/Cr 合金靶材 (70:30,50:50at%)

6) Nb/Zr 合金靶材 (97:3,90:10wt%）

7) Si/Al 合金靶材 (90:10,95:5,98:2,70:30,wt%)

8) Zn/Al 合金靶材

9)高纯铬靶 (99.95%, 99.995%)

10)Al/Cr 合金靶材 (70:30, 50:50，67:33，at%)

11) Ni/Cu合金靶材 (70:30,80:20,wt%)

12)Al/Nd 合金靶材 (98:2wt%)

13)Mo/Nb 合金靶材 (90:10,wt%)

14)TiAlSi 合金靶材 (Ti/Al/Si=30/60/10, 33/67, 40/50/10 ,wt% and at%)

15)CrAlSi 合金靶材 (Cr/Al/Si=30/60/10 ,wt% and at%)