低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。利用高频高压的电场与光辐照在电场作用下，离子发生器产生大量的粒子， 粒子与空气中的氧分子进行碰撞而形成正、负氧离子。光与废气气体分子的相互作用又可以看做是辐射场（震荡电场）与电子（震荡偶极子）会聚时的一种能量交换。使废气物质分子的能态发生了改变，即分子的转动、振动或电子能级发生变化，由低能态被激发至高能态，这种变化是量子化的。且在与 VOC 分子相接触后打开有机挥发性气体的化学键，经过一系列的复杂的化学反应，最终生成二氧化碳和水等稳定无害的小分子。
1）在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能量能够打开某些有害气体分子的化学能，如：苯、甲苯、二甲苯、氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯、乙烯，硫化物H2S、VOC类的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链分解为单质原子或无害分子。
（2）等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，在电场作用下，废气分子处于激发态，当废气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，废气分子的分子键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。
反应过程如下：
O2+e（3.6eV）→•O+O
H2O+e（5.09eV）→•OH+H－ O+•OH→•OH2
H2S+•OH→HS+H2O HS+O2+O2＋+O2－→SO3+H2O
NH3•OH→NH2+H2O CH2O+O2＋+O2→+•OH→H•COOH+H2O
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