AES测试原理

1)原子内某一内层电子被激发电离从而形成空位，

(2)一个较高能级的电子跃迁到该空位上，
(3)再接着另一个电子被激发发射，形成无辐射跃迁过程，这一过程被称为Auger效应,
被发射的电子称为Auger电子。

(4)俄歇电子能谱仪通过分析Auger电子的能量和数量，信号转化为元素种类和元素含量。

1深度分析（不同深度成分）

如图，横坐标为溅射时间，与溅射深度有对应关系，纵坐标为元素的原子百分比。从图上可以清晰地看到各元素在薄膜中的分布情况。在经过界面反应后，在PZT薄膜与硅基底间形成了稳定的SiO2界面层。这界面层是通过从样品表面扩散进的氧与从基底上扩散出的硅反应而形成的

2微区分析

1在正常样品区，表面主要有Si, N以及C和O元素存在
2而在损伤点，表面的C,O含量很高，而Si, N元素的含量却比较低。 
3说明在损伤区发生了Si3N4薄膜的分解

罗生  18038054532

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