设备所属类别：CCD视觉检测设备

应用行业：半导体行业

产品特点：该设备为半导体行业专用晶元检测机台，具有放大倍率高，成像好等优点。载物台采用真空腔体设计，配备4轴探针，可同时对晶元进行电信号检测。