a. 真空机组


　　美国安捷伦(Agilent)VHS 系列扩散泵或分子泵;
b. 电控系统


　　机组入口压力控制真空泵起动、机组入口高压力变送，控制机组及各真空泵启动顺序、扩散泵的控制、真空机组和维持真空泵的转换、电流电压独立显示。过载保护、设有急停按钮、电控箱喷塑处理。控制系统采用施耐德主元器件、国产智能复合真空计，能实现手动开启机械泵、罗茨泵、扩散泵以及相关阀门，真空计显示系统和真空泵不同位置的真空度。每路负荷的电流均为数字显示。系统主阀与旁通阀互锁、前级阀与旁通阀互锁、罗茨泵达不到启动真空度不能开。


　　c. 氮气置换系统


　　氮气置换器为独立可移动模块化设计，以便于观察和使用;置换氮气的压力和温度根据生产需要可以进行适当调整。


　　d. 内加热系统及温控系统
循环内胆加热系统加热到120℃ -150℃的温度，回风温度100-120℃(根据客户选用缠绕材料耐温能力的不同，本加热系统可加热到350℃)，为内胆提供持续不间断的循环热风，辅助活跃附着在罐体内胆外壁水分子，热风循环功能确保了加热功率降到最低。


　　3、工艺流程简述


　　a. 罐体氦检漏合格后，将罐体保持夹层真空度移至抽真空系统工位;


　　b. 将罐体夹层接口与抽真空系统连接(确保连接密封性)，并检漏;


　　c. 连接循环内加热系统到罐体内胆，高温热空气从罐体底部的进液管、放气管进入，从罐体顶部的进出液管、增压管排出(根据客户罐体管路布局，内胆加热进出风口的连接方式可做相应调整);


　　d. 与此同时连接好夹层氮气置换用的软管到抽真空主管路作氮气置换准备;


　　e. 启动罗茨旋片机组，对罐体夹层预抽真空;


　　f. 打开氮气置换阀门，进行对罐体夹层的氮气冲洗置换;


　　g. 重复e、f 两个步骤9-10 次，并记录工艺循环周期数据;


　　h. 氮气置换工艺完毕后，做间断性抽真空工艺，直到整体工艺结束。