前面板 
[1] 照明强度旋钮 
[2] 物镜倍率切换 
[3] 孔径光阑调节 

在对比度的决定上起重要作用的孔径光阑（AS）的开闭调节，与物镜的切换和观察模式连动，用一个按钮就可以操作。此外，用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上，从而提高了检查速度。物镜和孔径光阑（AS）的按钮分别斜向配置，手不离开对焦手柄，只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度，能够防止错误操作。 

倾斜镜筒示意图

为了适应视点而调整座椅的高度，或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间，降低工作速度。但是，配备倾斜角度为0°～42°（可变高度为150 mm，SEMI S8对应）的倾斜镜筒，可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势，甚至可以站立检查。此外，这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离，可以在较大的平台上轻松操作。 

内置离合器的载物台手柄

对应300 mm晶圆／17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围（Y方向284 mm）。另外，内置离合器的载物台手柄，可切换粗调和微调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台，快速完成检查。 

观察影像实例

明视场观察

暗视场观察

微分干涉观察

荧光观察

丰富的产品阵容，可按需选择

MPLAPON

平场复消色差透镜 

MPLFLN

平场半复消色差透镜 

MPLFLN-BD

明暗视场用平场半复消色差透镜 

MPLFLN-BDP

反射偏振光用平场半复消色差透镜 

LMPLFLN

长工作距离平场半复消色差透镜 

LMPLFLN-BD

明暗视场用长工作距离平场半复消色差透镜 

MPLN

平场消色差透镜 

MPLN-BD

明暗视场用平场消色差透镜 

SLMPLN

超长工作距离平场消色差透镜 

LCPLFLN-LCD

液晶长工作距离平场半复消色差透镜 

电动物镜转换器示意图

电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换，可以操作按钮瞬时间完成，提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外，UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机，在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。 

AS自动调节示意图

每次变换物镜时都需要调节孔径光阑（AS）的话，会影响检查速度。MX61L对每个物镜都可以设置观察方法和AS（14级），只要切换物镜就能以最合适的对比度进行观察。在变换物镜和切换观察模式时不再需要花时间调节AS，提高速度的同时减轻了操作员的疲劳。 

自动晶圆搬送机AL110（200 mm规格）组合

MX61L能与自动晶圆搬送机组合，组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到微观检查等多种任务。此外，晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的遥控器，那么不良晶圆的登录、开始和保存都可以在手中快速完成。 

近红外线观察单元

粘合衬垫

荧光镜单元

荧光观察

透射照明单元

半导体／FPD检查显微镜 规格 

MX61L 

MX61 

光学系统 

UIS2光学系统（无限远校正） 

机身 

观察方法 

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 

反射/透射 

反射/透射 

照明装置 

机身一体型（明视场，暗视场＋1选件） 

照明系统 

反射照明 

100 W卤素/100 W水银/75 W氙 

透射照明 

纤维光导 

对焦单元 

电动/手动 

手动 

行程 

32 mm 

分辨率/微调灵敏度 

微调旋钮转动1周移动0.1 mm 

最大样本高度 

30 mm 

物镜转换器 

电动型 

明视场微分干涉6孔 

明暗视场微分干涉5孔 

明暗视场微分干涉6孔 

明暗视场微分干涉中心输出5孔 

手动式 

- 

载物台 

行程 

14×12英寸右下手柄： 
356（X）×305（Y）mm 
（透射照明范围356×284 mm） 

8×8 英寸右下手柄： 
210（X）×210（Y）mm 
（透射照明范围189×189 mm） 
6×6 英寸右下手柄： 
158（X）×158（Y）mm 

观察筒 

广角视场 
（视场数22） 

倒置 

双目/三目观察筒 

正像 

三目观察筒 

超宽视场 
（视场数26.5） 

倒置 

三目观察筒 

正像 

倾斜三目观察筒 

附件单元 

DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载 

外形尺寸 

710（W）×843（D）×507（H）mm 
（标准组合） 

509（W）×843（D）×507（H）mm 
（标准组合） 

重量 

51 kg（标准组合） 

40 kg（标准组合）