名称

 单位

 参数

 容量

 kg

 5-500

 最高工作温度

 0C

 1700

 极限真空度

 Pa

 6.7X10-2

 压升率

 Pa/h

 6.5

 额定中频功率

 Kw

 50-1000

 额定中频频率

 Hz

8000-500

 中频电压

 V

 750/375

 冷却水耗量

 m3/h

 0.3-40

 冷却水压力

 MPa

 0.3