韩国NTW尾气处理设备（Scrubber）种类包括：
1，燃烧水洗式；
2，吸附式；
3，电离式；
4，水洗式；
    主要用于处理：太阳能光伏、半导体、微电子、LED等行业中产生的废气。        
    能处理气体主要有：SiH4、NH3、PH3、B2H6、GeH4、SiH2Cl2、TEOS、NF3、H2、CO、SF6、C2F6、WF6、N2O等。
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