1,气压氮化硅参数：

氮化硅技术参数

泰晟指标

氮化硅技术参数

泰晟指标

化学成分（Si3N4）

>92%

抗压强度

>1500Mpa

密度

3.2g/cm3

导热率

16-22 W/m.k

硬度(HRA)

>92

热膨胀系数

3.2-3.4*10-6k

抗折强度

>600Mpa

工作温度

1400°C

2，反应氮化硅参数：

氮化硅技术参数

泰晟指标

氮化硅技术参数

泰晟指标

化学成分（Si3N4）

>92%

热膨胀系数

2.6*10-6k

密度

2.4g/cm3

气孔率

<10%

硬度(HRA)

>85

抗折强度

>200Mpa