TMC-C500-C500

单位

X轴

Y轴

平台外形尺寸

mm

1086*1086*200

平台总重

Kg

250

负载

Kg

45

电机型号

TCB-100-NC-TE

TCB-050-NC-TE

有效行程

mm

500

500

峰值推力

N

1865

965

连续推力

N

905

465

光栅尺分辨率

μm

0.1

0.1

定位精度(补偿后）

μm

3

3

重复定位精度（补偿后）

μm

1

1

最大加速度（含负载）

m/s2

6

5

最大速度（含负载）

m/s

1

1

直线度

μm

±15

±15

垂直度

Arc sec

±5

                        TMC-U200-U200-D50

参数

单位

X轴

Y轴

θ轴

平台外形尺寸

mm

560*586.5*205

平台总重

Kg

68

电机型号

TUI-030-3

TUJ-050-3

TDC-320-50

有效行程

mm

200

200

140°

光栅尺分辨率

μm

0.1

0.1

0.12Arcsec

定位精度

μm

±2

±2

5Arcsec

重复定位精度

μm

±1

±1

2Arcsec

最大加速度

G

1

1

/

最大速度

m/s

1

1

270°/s

转动惯量

Kg.m2

/

/

0.097

轴向跳动

μm

/

/

±4

垂直度

μm

±4

±4

/

平面度

μm

±4

±4

/

正交度

Arc sec

5

5

/