品牌:爱思达
型号:XK16/XK22/XK23测量精度:±1μm总放大倍率:70~450X光学放大倍率:1.4~9×连续可调
产品特征:
1、精准:采用可精密调焦装置,以及图像处理、自动寻边和亚像素算法等技术;
2、高效:
①红光LED定位;
②自动寻边技术;
③具备SPC统计分析功能
线宽检测仪参数:
精准 | ①测量精度:±1μm |
②分辨率:XK16/XK22为0.70~5.20μm/pixel;XK23为0.4~2.6μm/pixel |
③总放大倍率:70~450X |
④光学放大倍率:1.4~9×连续可调 |
对象 | ①板宽:≤760mm |
②视野范围:0.53×0.4~3.4mm×2.5mm |
③线宽:≥20μm |
仪器外形尺寸(不含电脑) | XK16 | XK22 | XK23 |
135*135*310mm | 960*700*1280mm | 960*780*1280mm |
重量 | 1.52Kg | 145Kg | 190Kg |