微型定位平台
mSR
两个微型框架：mSR80（80x25mm）、mSR100（100x35mm）
六种直线编码器反馈选项
标准行程范围，从25mm到500mm
符合CE和RoHS
标准磁平衡（Msr80-25mm行程
概述
最大化你的设计,而不是他的足迹
仪器制造者需要一个小体积的运动平稳的定位台,mSR在两个框架尺寸(80和10mm宽)提供亚微米级精度的线性定位台.
mSR系列是精密加工、方导轨制成导向的两个不同的直线伺服电机驱动（无铁芯和有铁芯直线电机）精密定位平台。
多种线性编码器可选配置，满足多种应用需求。
相同外形，两个选项：
·精密级mSR是最精确的标准定位平台，行程50mm实现重复精度100nm和精度5μm。
·更具有竞争力的标准版利用磁性编码器技术，主要针对不要求精密级水平的应用，替代类似于滚珠丝杠驱动的场合。
这些定位平台是各种应用的理想选择，包括在数字病理设备的成像系统、计量仪器、半导体或电子制造。
mSR是MX80L的补充型定位平台，允许用户定制。
由于其紧凑的设计，mSR是生命科学中最理想的应用定位解决方案。典型的应用范围，从成像系统进行扫描操作来确定生物标志物，为高通量微板的处理，在细胞疗法需要细胞的选择和高精度位置补充再生医学技术的应用。
在设计时，考虑典型仪器的法规，mSR符合CE和ROHS要求的所有版本。
同样，mSR由于其低剖面和精度性能，在电子制造业也是理想的应用。典型的应用如半导体计量范围，晶圆划片。
特点
·两个微型框架：mSR80（80x25mm）、mSR100（100x35mm）
·两根高精度方导轨
·六种直线编码器反馈选项
·两个不同类型的直线电机技术
·标准行程范围，从25mm到500mm
·集成了可调节的零点和限位
·常见的螺纹安装孔和定位销孔
·符合CE和RoHS
·标准磁平衡（Msr80-25mm行程）
mSR80有铁芯
mSR100无铁芯
·单位力大
·定子和磁轨间无吸力
·低成本
·无齿槽效应
·优良的散热
·更轻
主要技术指标
参数 单位 行程
25 35 50 100 150
框架（宽x高x长） mm 80x25x110 80x25x120 80x25x165 80x25x265 80x25x365
最大负载 Kg 4 4 8 8 8
峰值推力 N 12 12 24 24 24
连续推力 N 4 4 8 8 8
加速度 G 3 3 3 3 3
标准级平面度 μm ±6 ±6 ±8 ±10 ±15
精密级平面度 μm ±3 ±3 ±4 ±5 ±10
滑块质量 Kg 0.2365 0.2365 0.3065 0.4115 0.519
平台质量 Kg 0.525 0.5815 0.7395 1.0665 1.403
磁性编码器-1微米分辨率
最大速度 mm/s 1100 1500 2000 2000 2000
双向重复定位精度 μm ±5.0
定位精度 μm 20 20 30 40 40
1μm分辨率光栅反馈
最大速度 mm/s 1100 1500 2000 2000 2000
双向重复定位精度 μm ±2.0
定位精度 μm 9 9 9 11 13
定位精度(矫正) μm 5 6 6 6 7
0.1μm分辨率光栅反馈
最大速度 mm/s 300 300 300 300 300
双向重复定位精度 μm ±0.3
定位精度 μm 8 8 8 10 12
定位精度(矫正) μm 4 5 5 5 6
0.01μm分辨率光栅反馈
最大速度 mm/s 30 30 30 30 30
双向重复定位精度 μm ±0.1
定位精度 μm 8 8 8 10 12
定位精度(矫正) μm 4 5 5 5 6
典型型号
