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技术参数：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。30000SCCM 50000SCCM
控制量程：2% to 100% 的全量程。
测量精度：全量程的1%
灵敏度：全量程的0.1%
热机时间：小于2Min
美国MKS 是全球最著名的先进生产工艺控制设备供应商之一， 其产品广泛地应用于各种半导体器件生产, 平板显示器, 光学储存介质, 玻璃镀膜, 光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。 MKS 前瞻性的创新开发， 推动其产品一直处于全球技术领先地位。 MKS 的电源, 测量, 控制和复杂气体相关的工艺监控技术，改善了设备完好率和产品成品率， 提高了生产产量和产品性能。 MKS 产品起源于我们的压力测量和控制核心技术， 延伸到材料递送, 气体和薄膜成分分析, 静电荷控制, 工艺控制, 信息管理, 电源和反应气体发生器及真空技术。
MKS 拥有完整的技术及产品资源， 无论是产品的研发设计, 生产管理还是客户支持服务， 都能快速满足客户的各种特殊需求。 MKS主要提供有：气体压力及流量测量和控制, 射频 /直流 /微波电源发生器及测量工具, 氟离子 /臭氧反应气体发生器, 真空产品, 气体分析仪, 静电控制及信息和控制技术等产品。
MKS流量计、MKS薄膜真空计、MKS流量控制阀广泛应用在半导体行业，镀膜玻璃，医药制药行业，生物工程行业，适合各种气体媒介，常用的有氧气，氢气，氮气，氯化氢气体，氨气，SICL4硅烷气体等
美国MKS真空计 MKS真空压力计 MKS薄膜真空计 MKS压力传感器 MKS压力开关 MKS流量计
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