规格参数		VMS-3020F
工作台	X/Y轴行程	300MM*200MM
	Z轴行程	有效空间245mm,调焦行程180mm，工作距离95mm
	金属台面尺寸	450MM*350MM
	玻璃台面尺寸	330MM*230MM
	传动型式	传动型：X/Y/Z轴台湾进口精密线性导轨和台湾进口研磨级滚珠螺杆
测量伺服驱动系统		光学尺分辨率：X/Y/Z轴0.0005MM（0.5UM）
		测量精度：≤2.5UM+L/200 重复精度：≤2.5UM+L/250
		多功能数据处理器可测点、线、圈、圆、角度等
影像系统		摄像机：日本彩色1/3″CCD 摄像机放大倍率30-230X
影像系统		镜头：NAV高清变倍镜头//连续放大倍率0.7-4.5X 可选配0.5x物镜，总放大倍率15-115X 可选配2x物镜，总放大倍率60-460X
光源系统		表面光源与透射光源LED冷光源、寿命长、亮度可调
仪器外形尺寸（LWH）		600x750x1100（MM）
仪器重量（KG）		260