碳化硅电热元件具有较大的比电阻，在空气中加热，发热部温度达到1100℃时，电阻率为0.0735~0.0168Ω·cm2/cm。碳化硅电热元件的电阻值随温度的升高而变化，从室温到800℃为负值，800℃以上为正值特性曲线。其具有良好的化学稳定性，酸对其无作用，但碱和碱土金属氧化物在一定的温度条件下对其有侵蚀作用，高温下，水蒸气、氢气、卤素、硫等对其也有氧化和侵蚀作用。