等级名称
等级限值
　 　 　 　 　 　 　 　 　 　
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
5μm
　 　 　 　 　 　 　
容积单位
容积单位
容积单位
容积单位
容积单位
　 　 　 　 　 　 　
国际单位
英制
单位
m
Ft
m
Ft
m
Ft
m
Ft
m
Ft
M1.0
　
350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10
0.283
/
/
M1.5
1
1240
35.0
265.0
7.5
106
3
35.3
1
/
/
M2.0
　
3500
99.1
757
21.4
309
8.75
100
2.83
/
/
M2.5
10
12400
350.0
2650
75
1060
30
353
10
/
/
M3.0
　
35000
991.0
7570
214
3090
87.5
1000
28.3
/
/
M3.5
100
/
/
26500
750
10600
300
3530
100
/
/
M4.0
　
/
/
75700
2140
30900
875
10000
283
/
/
M4.5
1000
/
/
/
/
/
/
35300
1000
247
7
M5.0
　
/
/
/
/
/
/
100000
2830
618
17.5
M5.5
10000
/
/
/
/
/
/
353000
10000
2470
70
M6.0
　
/
/
/
/
/
/
1000000
28300
6180
175
M6.5
100000
/
/
/
/
/
/
3530000
100000
24700
700
M7.0
　
/
/
/
/
/
/
10000000
283000
61800
1750
层流式空气气流运动成一均匀之直线型，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种：
(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
乱流式
乱流式
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
复合式(Mixed Type)详情请致电北京鹏禹净化科技有限公司电话：010-89395829 18386126466肖先生