光学微电子行业净化工程设计方案分析
对于常规电子厂房洁净室空调的设计，应根据电子厂房的
生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案，以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验，对于要求高的可
以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的，又要初投资低的，可以选用柜机+FFU。总之，具体的方案选
择根据具体情况而定。