关于CIF:
CIF来源于美洲,服务于中国,是一家集实验室仪器设备研发、制造、销售、服务、产品应用为一体的专业化集团公司,在半导体材料表面处理技术和无机样品前处理技术领域为客户提供先进的、高品质的实验仪器设备和应用工艺解决方案。
CIF 中国总部坐落于北京国际企业孵化中心 (IBI),系国家级高新技术企业,公司具有自主进出口权,CIF企业通过 ISO9001-2008质量管理体系认证,全系列产品通过CE认证,并获得多项国家专利。
CIF目前主要生产产品:
半导体材料表面处理仪器:等离子清洗机、紫外臭氧清洗机、匀胶机、烤胶机。
无机样品前处理通用仪器:亚沸酸蒸清洗器、真空赶酸系统、酸纯化器、智能消解仪、恒温电热板、实验室废液收集系统。
CIF扫描电镜等离子清洗机
CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用双等离子清洗源设计,自动切换,一机多用,清洗快速高效、低等离子体轰击损伤,核心部件采用国际一流品牌,保证设备优异的质量和稳定性。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。
产品特点
技术参数产品型号 | CIF-SEM |
法兰接口 | KF40 |
工作气压 | 0.3-3Pa |
等离子电源 | 两种等离子体清洗源,原位等离子源和远程等离子源,自动匹配器 |
13.56MHz等离子RF电源,5-100W可调 |
气体控制 | 标配MFC流量计(N2)/1只 |
真空互锁 | 采用美国MKS数字真空计,和电磁阀安全互锁 |
冷却方式 | 风冷 |
控制方式 | 7寸全彩触摸屏控制,互动操作界面 |
质量保证 | 二年免费,终身维护 |
电源/功率 | 220V,50/60Hz,200W |
可选配件 | 制氢(氧)机200SCCM,MFC流量计50SCCM(H2、O2、Ar) |