高低温工作台
■
高低温工作台以液氮为制冷媒介，工作温度可实现-160℃（改用液氦为制冷媒介温度可以更低）-400℃（可以更高）的连
续可调、可控，控温精度可达到±0.3℃，温度均匀性可达到±0.5℃；
■ 广泛的应用于真空探针台、原子层沉积等设备；
■
我公司提供的高低温工作台采用无氧铜整料，一面用加工中心铣出特殊设计的液氮槽纹路，再采用钎焊炉与焊接有VCR接 头的不锈钢盖板焊接；另
一面用加工中心铣出特殊设计的纹路，保证每根铠装电阻丝的间距只有1mm，基本等同于一块整 体的加热器，在盖板之间加装50层0.02mm厚的特
制石墨膜，其横向到热特性保证了工作台工作区域的温度均衡性；
■
测温点两个：一个与铠装电阻丝组合在一起，可以跟好的反应出加热器的温度状态；另一个测量点在工作台面底部，需要
外接热电偶，可以更好地反应出样品区域的温度。但两个测量点的测量值会随着时间的增长而变得近乎一样。
