一、电子元件生产用超纯水处理设备概述
电子元件生产用超纯水处理设备主要应用在电子元件生产中的重要性日渐突出,设备的出水水质已经成为影响电子元件质量和生产成本的重要因素,因此对于电子行业的用水水质越来越高。电子元件生产用超纯水处理设备正是应用于该行业,设备采用先进的制水技术,保证设备的出水水质符合行业用水需求。
二、电子元件生产用超纯水处理设备技术参数
型号 | LTLD |
单位时间产水量 | 200-5000L/H |
进水水质要求 | 市政自来水,地下水(增设预处理装置) |
产水电阻率 | 15-18.2MΩ.cm(25℃) |
总有机碳 | ≤10ppb |
热源 | <0.001EU/ml |
颗粒物(>0.22um) | <1/ml |
微生物 | <1cfu/ml |
连续稳定产水总量 | 可根据需求定制 |
工艺 | 多级预处理+单、双级RO反渗透+抛光混床 |
系统功能特点 | 多重功能定制 微电脑控制,运行状态显示 产水在线监测,产水参数在线显示 开机自检、自动排水 耗材更换提示 |
安全保护功能 | 内部漏水、进水压力过低、缺水、内部管路压力过高时自动停机保护 |
电源电压 | 380V |
额定功率 | 2.5KW |
设备规格L×W×H(mm) | 2500×1200×1700(参考尺寸) |
三、电子元件生产用超纯水处理设备工艺
1、采用离子交换方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点
2、采用两级反渗透方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透 →PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3、采用EDI方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点
四、电子元件生产用超纯水处理设备特点
200L-1000L/H产水量的中型超纯水设备预处理和除盐系统所有管件、配件采用卫生级不锈钢,坚固耐用,抗腐蚀。
主要部件采用国际知名品牌,保证优良的产水水质。
超纯水设备的电路和水路彻底分离,避免因内部潮湿、漏水引起的电路老化损坏。
先进的微电脑控制以及参数修改、提示功能,运行状态和产水水质在线显示,操作简单、快捷。
采用国际最先进的单双级RO反渗透+EDI连续电除盐+抛光混床工艺,出水电阻率可达18.25MΩ.cm,连续产水性能极佳。
五、深圳天马微电子公司成功案例
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