满量程流量范围（N2）

5SCCM～30SLM

控制范围

2～100％F.S.

阀类型（及阀初始状态）

电磁调节阀（常闭）

准确度

＜20SLM

±1％F.S.

20~30SLM

±2％F.S.

线性

＜20SLM

±0.5～1％F.S.

20~30SLM

±2％F.S.

重复精度

±0.2％F.S.

响应时间

≤4sec

工作温度范围

5～45℃

工作压差

≤10SLM

0.1～0.5MPa

＞10SLM

0.1～0.3MPa

耐压

3MPa

漏气率

1×10-9SCCSHe

密封材料

氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶

接头选择

VCR

1/4”或φ4hose、φ6hose

Swagelok

1/8”、1/4”或φ3、φ6mm

电插头形式

DB15 pin(Male)

抗电磁干扰

CE

重量

1.8Kg