宝鸡市弘鼎金属材料有限公司
宝鸡市弘鼎金属材料有限公司位于宝鸡市宝钛路温泉工业园,是主要以钛材、镍材、锆材等有色金属材料的生产、加工、销售为一体的综合性企业。
公司主要产品:钛、镍、钨、钼、锆,及其合金板、管、棒、丝、靶材、箔材等。加工各种钛及钛合金管件、钛法兰、镍法兰、钛镍标准件、钛网篮、钛挂具,各种规格的钨坩埚、鉬坩埚、钼舟、镍舟、钛珠、镍珠,混合干燥机、储罐、反应釜、防腐泵阀、换热器等产品。公司坚持“诚信为本、信誉、质量、服务”的企业宗旨,以科技为先导,努力拼搏,开拓市场。以优异的质量,快捷的服务,良好的信誉,真诚与新老客户携手共同发展!
宝鸡市弘鼎金属材料有限公司
表面工程用靶材(装饰工具)多弧靶
品 名 |
纯度 |
密度 |
镀膜优势色 |
形状 |
常规尺寸 |
应用行业 |
钛铝(TiAl)合金靶 |
2N8-4N |
3.6-4.2 |
玫瑰金/咖啡色 |
圆柱形 |
直 径
60/65/95/100*30/32/40/45mm |
装
饰
/
工
具 |
纯铬(Cr)靶 |
2N7-4N |
7.19 |
白色/黑色 |
圆柱形 |
纯钛(Ti)靶) |
2N8-4N |
4.51 |
金黄色/枪黑色
蓝色/玫瑰红 |
圆柱形 |
纯锆(Zr)靶 |
2N5-4N |
6.5 |
金色 |
圆柱形 |
纯铝(Al))靶 |
4N-5N |
2.7 |
银色 |
圆柱形 |
纯镍(Ni)靶 |
3N-4N |
8.9 |
金属本色 |
圆柱形 |
镍钒(Ni)靶 |
3N |
8.57 |
蓝绿色 |
圆柱形 |
纯铌(Nb)靶 |
3N |
8.57 |
白色 |
圆柱形 |
纯钽(Ta)靶 |
3N5 |
16.4 |
黑色/紫色 |
圆柱形 |
纯钼(Mo)靶 |
3N5 |
10.2 |
黑色 |
圆柱形 |
靶材的主要性能要求
靶材的主要性能要求:
纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。