2MHZ 13.56MHZ、27MHZ、64MHZ射频电源应用于真空镀膜、等离子设备清洗、半导体刻蚀领域。我们提供功率1KW、3KW、10KW、20KW不同功率等级的设备。
特点:
全固态化功放器设计
优质性能
高效率
输出功率可调节
自适应负载
高可靠性
低成本
型号 Model | 规格书 Data sheet | 频率 Freq. (MHz) | 输出功率 Pout (W) | 供电电压 Vin (V) | 效率 Efficiency (%) | 散热方式 Heat Dissipation | 尺寸 Dimension |
Solid-state RF generator—固态射频电源 |
WSPS-13.56-1000 | | 13.56 | 1000 | 220V | 65 | 风冷 Air cooling | |
WSPS-13.56-3000 | | 13.56 | 3000 | 220V | 65 | 水冷 | |
WSPS-27-1000 | | 27 | 1000 | 220V | 65 | 风冷 | |
WSPS-27-3000 | | 27 | 3000 | 220V | 65 | 水冷 | |
WSPS-64-1000 | | 64 | 1000 | 220V | 65 | 风冷 | |
WSPS-64-3000 | | 64 | 3000 | 220V | 65 | 水冷 | |
WSPS-162-1000 | | 162.5 | 1000 | 220V | 65 | 风冷 | |
WSPS-162-3000 | | 162.5 | 3000 | 220V | 65 | 水冷 | |
WSPS-325-800 | | 325 | 800 | 220V | 60 | 风冷 | |
WSPS-325-1500 | | 325 | 1500 | 220V | 60 | 水冷 | |
WSPS-325-3000 | | 325 | 3000 | 220V | 60 | 水冷 | |
WSPS-433-100 | | 433 | 100 | 28V | 65 | 风冷 | |
Solid-state MW generator—固态微波源 |
WSPS-433-500 | | 433 | 500 | 220V | 65 | 风冷 | |
WSPS-433-1000 | | 433 | 1000 | 220V | 60 | 水冷 | |
WSPS-915-200 | | 915 | 200 | 28V | 60 | 风冷 | |
WSPS-915-500 | | 915 | 500 | 220V | 60 | 风冷 | |
WSPS-915-1000 | | 915 | 1000 | 220V | 60 | 水冷 | |
WSPS-2450-100 | | 2450 | 100 | 28V | 45 | 风冷 | |
WSPS-2450-200 | | 2450 | 200 | 28V | 45 | 风冷 | |
WSPS-2450-500 | | 2450 | 500 | 220V | 40 | 水冷 | |
WSPS-2450-1000 | | 2450 | 1000 | 220V | 40 | 水冷 | |
可根据客户要求制作各频段以及特殊技术指标的功率源