型号

CMS-554MV

CMS-564MV

CMS-547MV

CMS-584MV

CMS-665MV

CMS-685MV

CMS-6105MV

CMS-8105MV

行程(mm)

X

500

500

500

500

600

600

600

800

Y

500

600

700

800

600

800

1000

100

Z

400

400

400

400

500

500

500

600

仪器精度

空间精度 MPEE=(3.5+L/250)μm 　　　　　　　　　　单轴精度　MPEE1=（3.0+L、250)μm

分辨力：0.5um

结构形式：移动桥式

总功率：75W(不包括电脑)

系统
特点

外形尺寸(m)

1.0×
1.1×2.2

1.0×
1.2×2.2

1.0×
1.3×2.2

1.0×
1.4×2.2

1.14×
1.1×2.4

1.14×
1.3×2.4

1.14×
1.5×2.4

1.65×
2.1×2.85

整机
重量

700kg

770kg

840kg

910kg

900kg

1040kg

1180kg

2460kg

最大
承重

200kg

200kg

200kg

200kg

500kg

500kg

500kg

1000kg

1.45×
1.37×2.1

1.45×
1.47×2.1

1.45×
1.57×2.1

1.45×
1.67×2.1

1.35×
1.75×2.4

1.35×
1.75×2.4

1.35
1.95×2.4

1.9×
2.5×2.4

测量精度:(3.0+L/200)μm      
光源:LED 冷光源，亮度连续可调     
视频总倍率:20X—128X(19"显示器，分辨率1440*900)