罗茨真空泵的最大优点是在较低入口压力时具有较高的抽气速率，但它不能单独使用，必须有一台前级真空泵串联，待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨真空泵允许人口压力时，罗茨真空泵才能开始工作，并且在一般情况下，罗茨真空泵不允许高压差时工作，否则将会过载和过热而损坏，因此使用罗茨真空；泵时必须合理地选用前级真空泵，安装必要的保护设备。 前级真空泵一般为油封机械泵，但如果极限压力要求不高时，可选用其他形式的粗真空泵作为前级泵。特别在抽除有大量水蒸汽的气体时，选用水环真空泵作为前级泵是很理想的，当然所能达到的极限压力要差些。 
罗茨真空机组应用一下方面：适用于抽吸空气及其它无可凝性及无腐蚀性的气体和需要大抽速和需要获得低、高真空的各种真空系统中，例如：真空冶炼、钢液脱气、大型空间模拟试验中的动态真空的获得，电力电容器，变压器真空浸渍处理，日光灯管，灯泡自动生产线上的排气，保温瓶胆边续排气，真空镀膜设备中的预抽，镁还原过程中的抽气，单晶硅提炼过程中的除气等等。

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