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1、蓝宝石抛光垫修整器的制作方法
[简介]： 本发明提供一种蓝宝石抛光垫修整器的制作方法，包含芯片单元产生步骤、影像转移步骤以及热处理步骤，芯片单元产生步骤是藉由拉晶、切片而得到具有该特定轴向的蓝宝石芯片，影像转移步骤是在该蓝宝石芯片的表面上以影像转移...

2、蓝宝石抛光垫修整器的制作方法
[简介]： 本发明提出一种蓝宝石抛光垫修整器及其制造方法，其利用微影蚀刻制程加工一蓝宝石层，于蓝宝石层表面形成多个蓝宝石磨粒，并将成形后的蓝宝石层与蓝宝石磨粒应用于抛光垫整修器的研磨面，而蓝宝石磨粒的外形能透过蚀刻控制...

3、蓝宝石抛光垫修整器及其制造方法
[简介]： 本实用新型适用于蓝宝石晶体技术领域，提供了一种蓝宝石抛光装置，所述蓝宝石抛光装置设有一抛光台，安装在所述抛光台上的转动单元，所述转动单元通过一动力装置驱动，固定安装在所述抛光台上的滑规，所述滑轨内约束安装一连...

4、一种蓝宝石抛光装置
[简介]： 本发明适用于蓝宝石晶体技术领域，提供了一种蓝宝石抛光装置，所述蓝宝石抛光装置设有一抛光台，安装在所述抛光台上的转动单元，所述转动单元通过一动力装置驱动，固定安装在所述抛光台上的滑规，所述滑轨内约束安装一连杆，...

5、一种蓝宝石抛光装置
[简介]： 本发明提供了一种蓝宝石抛光组合物，包括以下组分：硅溶胶、pH调节剂、活性剂和缓冲剂，所述的硅溶胶、pH调节剂、活性剂与缓冲剂的重量百分比为84∶10∶1∶3。本发明的蓝宝石抛光组合物，具有如下技术效果：1抛光去除速率高，抛光后...

6、蓝宝石抛光组合物
[简介]： 本发明公开了一种蓝宝石抛光后的清洗方法，包括以下步骤：a、按照双氧水、氨水和去离子水的重量比＝1∶4∶5配制清洗液；b、采用步骤a所得清洗液清洗1分钟；c、用去离子水清洗4分钟；d、用硫酸清洗1分钟；e、用去离子水清洗4分钟；f、用...

7、蓝宝石抛光后的清洗方法
[简介]： 本发明公开了一种蓝宝石、陶瓷的圆孔抛光工艺，包括如下步骤：（1）将蓝宝石或陶瓷工件装夹到抛光机底座上；（2）将钻石膏作为抛光剂填充在所述工件需抛光的孔位内壁；（3）开启抛光机驱动所述工件以孔位的工艺轴心为转轴作转速2...

8、一种蓝宝石、陶瓷的圆孔抛光工艺
[简介]： 本发明属于触摸面板的加工技术领域，一种蓝宝石触摸面板的两面抛光方法，其特征在于，将蓝宝石触摸面板置于上下抛光盘之间进行，选用2种SiO2抛光液，采用无纺布抛光垫粘于上下抛光盘上，下盘转速控制在20-30转分之间，压力控...

9、一种蓝宝石触摸面板两面抛光方法
[简介]： 本发明公开了A-面蓝宝石晶片的表面抛光方法，通过配置抛光液，抛光液配置完成后，需保持循环搅拌的状态，以使抛光液中的固体成分悬浮均匀；然后在铜抛光机上将晶片贴于陶瓷盘上对晶片表面进行粗抛光，最后在单面抛光机上进行...

10、A-面蓝宝石晶片的表面抛光方法
[简介]： 本发明公开了一种蓝宝石管的抛光方法，所述方法采用在抛光专用夹具上固定蓝宝石管，再将抛光专用夹具固定在立式数控铣床上的方式来对蓝宝石管进行抛光，所述方法设备利用率高，降低了加工成本。所述抛光方法快速简便、简化了...

11、一种蓝宝石管的抛光方法
[简介]： 本文描述使用包含胶体二氧化硅的组合物抛光蓝宝石表面的方法，其中所述胶体二氧化硅具有宽的粒度分布。

12、抛光蓝宝石表面的方法
[简介]： 本发明涉及一种蓝宝石衬底晶片抛光后的超声清洗方法，提出了一种超声+溶液清洗去除颗粒和金属离子，再利用超声+氧化液清洗去除有机物的清洗方法。其中，颗粒与金属离子的去除，主要选用FAO型螯合剂与JFC和AEO两种非离子表...

13、一种蓝宝石衬底晶片抛光后的超声清洗方法
[简介]： 蓝宝石衬底材料精密抛光夹持陶瓷盘，由凸台、凹槽、导流槽、弹性垫片、导流孔、陶瓷盘体组成，其特征是陶瓷盘体的上端四周设置凸台，凸台的两侧分别设置导流孔，陶瓷盘体的上端凸台的内侧设置凹槽，凹槽的一侧设置导流槽，凹槽的...

14、蓝宝石衬底材料精密抛光夹持陶瓷盘
[简介]： 本发明公开了一种基于固结磨料抛光垫的蓝宝石衬底的超精密加工方法，它主要包括粗磨、精磨、抛光三步骤：首先，采用W75的镀镍金刚石固结磨料研磨抛光垫（FAP）对切割后的蓝宝石毛坯进行粗磨，其次，采用W28的镀镍金刚石FAP对粗...

15、基于固结磨料抛光垫的蓝宝石衬底的超精密加工方法
[简介]： 本发明涉及一种蓝宝石用抛光废浆中的碳化硼回收利用的方法，包括以下步骤：将主要成分是油性有机物质和碳化硼的混合液及氧化铝粉的废浆与降粘剂按照质量百分比为2.5:10～5.8:10进行搅拌，制得悬浮液，然后固液分离得到一级...

16、一种蓝宝石用抛光废浆中的碳化硼回收利用的方法
[简介]： 本发明提供一种能够完全取代人工清洗、做到一次清洗通过率达到行业内领先水平的蓝宝石衬底晶片抛光后的清洗方法，属于晶体加工制作技术领域。在室温下，将抛光后蓝宝石衬底晶片浸泡于SM-007酸液中，清洗15—30分钟；在室温下...

17、蓝宝石衬底晶片抛光后的清洗方法
[简介]： 本发明公开了一种用于蓝宝石CMP的高浓度抛光组合物及其制备方法，所述用于蓝宝石CMP的高浓度抛光组合物按质量百分比配置，硅溶胶：pH调节剂：活性剂：缓冲剂90：6：2：2；所述制备方法如下，首先按比例取硅溶胶，然后向其加入pH...

18、一种用于蓝宝石CMP的高浓度抛光组合物及其制备方法
[简介]： 本发明公开了一种提高蓝宝石表面质量的抛光组合物组合物包括以下物质：磨料、盐组合物、有机成分、pH缓冲剂、pH调节剂、水，本发明与现有技术相比，通过加入了有机成分，能够明显提高抛光后蓝宝石表面的光洁度、降低蓝宝石抛光...

19、一种提高蓝宝石表面质量的抛光组合物
[简介]： 本发明涉及一种用于LED用蓝宝石衬底片精密抛光的抛光液制备配方。其成分和重量比组成如下：有机碱二乙醇胺0.7～1.0wt%，粒径为50～70nm含量25～35wt%的硅溶胶，分散剂乙二胺0.4～0.7wt%，活性剂壬基酚聚氧乙烯醚0.1～0.3wt%。抛光...

20、一种用于LED用蓝宝石衬底片精密抛光的抛光液
[简介]： 蓝宝石单晶长方体窗口多面抛光批量加工的加工工艺，是采用双面研磨抛光设备对窗口工件进行研磨抛光加工。工件把蓝宝石六面体窗口，放置在游星轮卡具中，先对大面进行研磨，使用环氧树脂材料卡具，W40碳化硼进行粗磨，W7碳化硼...

21、蓝宝石单晶长方体窗口多面抛光批量加工的加工工艺
[简介]： 本实用新型公开了蓝宝石衬底抛光装置，在机架上转动安装有转轴，在转轴的顶端部固定有抛光台，在抛光台的上表面固定有水晶抛光垫，在水晶抛光垫上方设有磨料供给机构；在机械臂上通过胶轮安装有固定环，在固定环内设有衬底固...

22、一种蓝宝石衬底抛光装置
[简介]： 本发明公开了一种蓝宝石衬底抛光装置及抛光工艺，在机架上转动安装有转轴，在转轴的顶端部固定有抛光台，在抛光台的上表面固定有水晶抛光垫，在水晶抛光垫上方设有磨料供给机构；在机械臂上通过胶轮安装有固定环，在固定环内...

23、一种蓝宝石衬底抛光装置及工艺
[简介]： 本发明公开了属于半导体照明LED芯片、精密仪器仪表制造技术领域的一种用于蓝宝石晶片循环抛光的抛光组合物。该抛光组合物包含磨料和水，其特征在于，还包含抛光促进剂、螯合剂和抛光稳定剂，其中，按重量百分含量，抛光促进剂...

24、一种用于蓝宝石晶片的抛光组合物
[简介]： 本发明涉及用于LED部件，属于精密仪器及晶体制造加工领域。解决用于蓝宝石LED衬底抛光专用超薄载体盘的强度、及防腐问题，为解决上述技术问题：一种用于蓝宝石LED衬底抛光专用超薄型不锈钢载体盘，它采用进口耐腐蚀316L不锈...

25、蓝宝石LED衬底抛光超薄型不锈钢载体盘及设备
[简介]： 本发明是一种蓝宝石的抛光装置及其抛光方法。本发明抛光装置包括有激光光束、支撑板、工作台、连接件，其中工作台上装设有驱动其作X方向运动的步进电机及驱动其作Y方向运动的步进电机，连接件固定在工作台上，支撑板装设在连...

26、蓝宝石的抛光装置及其抛光方法
[简介]： 本发明涉及一种圆棒形蓝宝石透镜球面的抛光方法，包括以下步骤：1将圆棒形蓝宝石透镜装夹在车床的夹头上，将磨轮装夹在车床的小车头上，在磨轮上固定抛光布；2调整车头，使得车头上的磨轮的轴心线与圆棒形蓝宝石透镜的水平...

27、圆棒形蓝宝石透镜球面的抛光方法
[简介]： 本发明涉及蓝宝石衬底材料表面高精密加工过程中化学机械抛光CMP抛光后表面洁净技术。提供一种选用中性介质的水抛液，该水抛液选用活性剂、螯合剂、阻蚀剂组成，当碱性抛光刚刚完成后，马上使用上述水抛液并采用大流量水抛...

28、蓝宝石衬底材料抛光后表面洁净方法
[简介]： 本发明公开了一种蓝宝石表面处理的技术，特别是公开了一种蓝宝石抛光液及配制方法，包括去离子水溶液、二氧化硅纳米颗粒、分散剂、络合剂和pH调节剂，首先将分散剂、络合剂加入到去离子水中，然后向其中加入二氧化硅纳米颗粒，...

29、一种蓝宝石抛光液及配制方法
[简介]： 高效氧化铝蓝宝石抛光液，其特征在于：包含有氧化铝抛光研磨材料，含羧基聚合物分散剂和含胺基抛光加速剂、含膦酸基抛光加速剂或含磺酸基抛光加速剂中的至少一种加速剂，pH在10-13范围内。其中氧化铝具有α晶体结构，平均粒径...

30、高效氧化铝蓝宝石抛光液及其制备方法
[简介]： 本发明涉及半导体材料领域，公开了一种蓝宝石衬底及其抛光方法与应用，本发明的蓝宝石衬底表面抛光，且抛光表面具有随机无序的凹陷图案结构。本发明的蓝宝石衬底表面只有局部平坦化。这样的蓝宝石衬底大大降低了加工成本，增...

31、蓝宝石衬底及抛光方法与应用
[简介]： 本发明涉及一种用于蓝宝石圆棒胶木轮的抛光膏，其所述抛光膏由纳米金刚石、凡士林、色拉油组成，各组分的为：纳米金刚石粉3-6重量份；凡士林240-300重量份；植物油135-200重量份。采用本发明所述抛光膏抛光的工件表面表面光洁...

32、用于蓝宝石圆棒胶木轮的抛光膏及其制备方法
[简介]： 本发明是一种绿光和紫外光激光抛光蓝宝石的复合工艺方法。包括如下步骤：1用绿光激光扫描抛光蓝宝石晶片的表面；2再用紫外光激光抛光绿光激光抛光过的蓝宝石晶片表面。上述绿光激光和紫外光激光为脉冲式激光。本发明由于...

33、绿光和紫外光激光抛光蓝宝石的复合工艺方法
[简介]： 本实用新型是一种蓝宝石的抛光装置。包括有激光光束、支撑板、工作台、连接件，其中工作台上装设有驱动其作X方向运动的步进电机及驱动其作Y方向运动的步进电机，连接件固定在工作台上，支撑板装设在连接件上，待抛光的蓝宝石晶...

34、蓝宝石的抛光装置
[简介]： 本发明涉及一种混合磨料碱性蓝宝石衬底材料CMP抛光液及其制备方法，CMP抛光液由以下重量百分比的组分组成：0.5-35%的主磨料、0.015-0.09%的辅助磨料、0.005-0.05%的螯合剂、0.005-0.05%的表面活性剂、0.01-0.5%的pH调节剂，余...

35、一种混合磨料碱性蓝宝石衬底材料CMP抛光液及其制备方法
[简介]： 包括分散在一种水性介质中的一种第一类型的颗粒以及一种第二类型的磨料颗粒的一种混合物改进的浆料组合物、以及用于化学机械平面化CMP过程的磨料浆料组合物、特别是用于抛光蓝宝石的磨料浆料组合物。这些磨料浆料组合物...

36、用复合浆料抛光蓝宝石
[简介]： 本实用新型公开了一种蓝宝石抛光液的分流装置，包括竖直的进流管，所述进流管的底端横向设有若干分流管，所述进流管的外周设有定位管，所述分流管由所述定位管的侧壁穿出。本实用新型由于采用了上述技术方案，由进流管进入的...

37、蓝宝石抛光液的分流装置
[简介]： 本发明涉及一种双面抛光机用蓝宝石衬底抛光液，其特征在于：所述蓝宝石衬底抛光液是专门针对双面抛光机使用。该抛光液是一种含有二氧化硅、氧化剂、碱性组合物、表面活性剂及水的组合物。所述氧化剂可以氧化工件表面的金属杂...

38、双面抛光机用蓝宝石衬底抛光液
[简介]： 本实用新型公开了一种用于蓝宝石领域的CMP抛光液外部循环系统，包括抛光液管道，所述抛光液管道与抛光液桶连通，在所述抛光液管道上依次设置推进泵A、粗过滤装置、细过滤装置及推进泵B。将所述推进泵B与三通阀连接，三通阀的...

39、一种用于蓝宝石领域的CMP抛光液外部循环系统
[简介]： 本发明涉及一种单面抛光机用蓝宝石衬底抛光液，其特征在于：所述单面抛光机用蓝宝石衬底抛光液是专门针对单面抛光机使用，涉及单面抛光机用蓝宝石衬底抛光液制备方法。该抛光液是一种含有几种不同粒径大小二氧化硅的抛光液...

40、单面抛光机用蓝宝石衬底抛光液
[简介]： 本发明公开的一种用于蓝宝石衬底的抛光液，涉及抛光材料制备技术领域，是由下列重量百分比的原料制备而成：硅溶胶90-95、抛光加速剂0.05-2、络合剂0.05-3、pH值调节剂0.05-3，其余的为去离子水；具有去除速率高、抛光效果好、易...

41、一种用于蓝宝石衬底的抛光液
[简介]： 一种蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法，在抛光过程中加热抛光盘，抛光盘的温度为30℃-100℃；该抛光法采用的抛光液，由复合磨料、pH复合调节剂、表面活性剂、分散剂和去离子水组成，其中复合磨料由硬质磨料和软质磨料两种磨料粒...

42、一种蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法及抛光液
[简介]： 微碱性蓝宝石抛光液及其制备方法，涉及蓝宝石的抛光技术领域，先将粒径为3～300nm的纳米硅溶胶颗粒悬浮在水中，再加入络和剂到悬浮液中，然后再加入表面活性剂，最后将悬浮液的pH值调整到7～9.5。本发明方法简单、合理，易于生产...

43、微碱性蓝宝石抛光液及其制备方法
[简介]： 本发明公开一种LED衬底片用的蓝宝石或碳化硅晶片的表面处理用的化学机械抛光液，按重量百分比计算，其原料由2～30%的磨料、0.01～5%的螯合剂、0.01～10%的表面活性剂、0.01～10%的分散剂、0.1～20%的氧化剂和余量的去离子水组成。...

44、一种LED衬底片用的蓝宝石或碳化硅晶片的表面处理用的化学机械抛光液及其制备方法
[简介]： 本发明公开了一种高抛光速率的用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液，包含有磨料、pH值调节剂、表面活性剂、消泡剂和去离子水；以所述抛光液总重量为基准计，所述磨料的含量为1~50wt%，所述表面活性剂的含量为0.005-1wt%，所述消泡...

45、一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液及其应用
[简介]： 本发明公开了一种超薄蓝宝石片的抛光加工方法，该方法是将切割成片的蓝宝石片通过加热台加热到120℃，然后将固态蜡涂于产品上再贴于陶瓷盘上，再将贴好蓝宝石片的陶瓷盘放入单面抛光机上进行抛光。本发明采用单面抛光工艺，...

46、超薄蓝宝石片的抛光加工方法
[简介]： 本发明公开了一种改进的组合物和抛光蓝宝石表面的方法。该方法包括用抛光浆液研磨蓝宝石表面，例如蓝宝石晶片的C面或R面表面，其中抛光浆液包含悬浮在含水介质中的研磨量的无机研磨材料例如胶体二氧化硅，其中该含水介质中...

47、抛光蓝宝石表面的组合物和方法
[简介]： 本发明涉及蓝宝石衬底材料表面高精密加工过程中化学机械抛光CMP抛光液的制备方法。本方法抛光液选用纳米SiO2磨料，磨料的浓度为30-50wt％，粒径15-100nm，以利于材料的去除及表面平整化。抛光液的pH值9-13，既能满足有效去...

48、蓝宝石衬底材料CMP抛光液的制备方法
[简介]： 高效高精度蓝宝石抛光液及其制备方法，涉及对蓝宝石的抛光技术，特别是对表面的精抛的抛光液技术。先将粒径为15～80纳米的纳米硅溶胶颗粒分散在水中，形成悬浮液；再加入络和剂到悬浮液中；然后再加入表面活性剂；最后将悬浮液...

49、高效高精度蓝宝石抛光液及其制备方法
[简介]： 本发明公开了属于蓝宝石衬底材料的抛光技术领域的一种超声辅助化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置及方法。超声电源通过导线、碳刷和铜滑环接入超声换能器的正负接线柱上，超声换能器将电信号转化为机械振动信号，超声振动通...

50、一种超声辅助化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置及方法
[简介]： 本产品设计要部在正面图案，省略其他视图。

21、蓝宝石衬底抛光液及其制作方法
22、蓝宝石衬底抛光液及其制作方法
23、一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液
24、蓝宝石衬底材料抛光液及其制备方法

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