FRT表面轮廓测试仪有FRT Microspy，MicroProf，MicroGlider等几大类型，测试的垂直分辨率从纳米量级到微米量级不等，可根据需要灵活配置不同的探头，也可进行升级配置，实现多应用测试。同时配置的测试软件，可实现自动化测试，其优越的测试速度，在半导体晶圆测试中可实现快速有效性测试。详情可进入：www.gbit.net.cn.

MicroGlider

n 多种测量传感器可选

n 高精度气浮工作台

n 花岗岩防震基座

n CCD定位摄像头

n MarkIII 与Acquire测量分析控制软件

n 用户自定义测量报告

配置型号